SIMS-System für die Materialanalyse

Merkmale: Das System liefert wichtige Elementinformationen auf der Grundlage der Isotopen- und Ionendetektion (sowohl atomar als auch molekular). Dies ermöglicht den Nachweis von Elementen bis in den ppm-Bereich, was für die hochempfindliche 3D-Elementkartierung und Tiefenprofilierung unerlässlich ist. Der neuartige „Feature MS“-Modus erfasst Massenspektraldaten aus einem bestimmten Bereich, z. B. einer Verunreinigung oder Korngrenze. Kundenspezifische Befestigungslösungen für jedes FIB-System sind vorgesehen.

Das System ist entwickelt für die nahtlose Integration in bestehende FIB-Systeme und ist mit einer ausfahrbaren Extraktionsoptik ausgestattet, um Interferenzen mit anderen Analysegeräten zu vermeiden. Die firmeneigene „Hiden SIMS Mapper“-Software steuert den FIB-Strahl und erzeugt elementare Bilder und 3D-Tiefenprofile über das Sichtfeld des REM.

Anwendungen Neben der Oberflächenabbildung ist auch die Detektion von Atom- und Molekülionen (wie Li⁺ und LiO⁺) sowie die Isotopendetektion (wie ⁶⁹Ga und ⁷¹Ga) möglich, was eine umfassende Analyse für dünne Schichten, Halbleiter und Solarzellen gewährleistet.