Plasmadiagnosegerät
Angebot: PC-gesteuertes System „EQP“ mit kombiniertem Hochtransmissions-Ionenenergieanalysator und Quadrupol-Massenspektrometer für die Plasmaanalyse und -diagnostik.
Merkmale: Das System erfasst die Massenspektren und Energieverteilungen von Neutralen, Radikalen und Ionen (positiv und negativ). Trends in der Intensität sind über die Zeit erfassbar. Schnelle Erfassungsmodi ermöglichen die Untersuchung von Transienten und Nachleuchten. Spektren können mit der Windows-basierten „MASsoft“-Software einfach erfasst, gespeichert und manipuliert werden.
Das EQP umfasst einen elektrostatischen Sektorenfeld-Energieanalysator für die Ionenenergieanalyse. Auf den Energieanalysator folgt ein Dreifach-Quadrupol-Massenfilter, danach pulsionenzählender Elektronenvervielfacher, konfiguriert für die Detektion positiver oder negativer Ionen. Dieser Detektor bietet hohe Empfindlichkeit, schnelles Ansprechverhalten und einen hohen Dynamikbereich (>1010) für Plasma-Ionen und Neutrale. Der Massenbereich umfasst 300 amu, 510 amu, 1000 amu und 2500 amu. Ein Energiebereich von 100 eV ist Standard und 1000 eV optional. Damit ist die Analyse von positiven und negativen Ionen sowie von Erscheinungspotentialspektren für die Radikalanalyse möglich. Signal-Gating durch direkten TTL-Eingang ist ebenfalls verfügbar mit einer Gating-Auflösung bis zu 1 μs für Nachleuchtstudien.
