VIP - Vakuum in Forschung und Praxis 5 / 2023

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Titelbild: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2023

Editorial

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Maβstäbe setzen: Von Photonen zur Druckmessung und einem Ion als Thermometer und Elektronen auf graden Bahnen

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Inhalt: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2023

• Pages: 4-5

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Magazin

News: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2023

• Pages: 6-11

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Forschung: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2023

• Pages: 12-17

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Personen: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2023

• Pages: 18-19

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Vakuum

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Ein neues hochgenaues und zuverlässiges Ionisationsvakuummeter: Feste relative Gas artempfindlichkeit etabliert neuen Standard für Hersteller und Anwender

Ein neuartiges Ionisationsvakuummeter bietet eine Lösung für die bisher unzureichende Stabilität kommerziell erhältlicher Geräte und ermöglicht vorhersagbare Empfindlichkeiten. Dies wird durch eine geradlinige Führung der ionisierenden Elektronen auf ihrem Weg durch den Ionisationsraum ermöglicht. Das neue Hochvakuum-messgerät ist für Anwendungen als Referenzmessgerät und in Prozessanlagen, bei denen hohe Reproduzierbarkeit gefordert ist, geeignet. Selbst ohne Kalibrierung bietet das Gerät eine Messunsicherheit von unter 5% und ist daher sowohl für Hersteller wie für Anwender auch kommerziell interessant.

• Pages: 20-25

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Oberflächen

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Surface-Inspection-Pad (SIP)
Ein neuartiger Ansatz für die ressourcenschonende Probennahme zur Kontaminationskontrolle von Bauteiloberflächen

Das Surface-Inspection-Pad, kurz SIP, bietet eine kostengünstige und ressourcenschonende Alternative zur Probennahme für eine vakuumgestützte Kontaminationskontrolle von Bauteiloberflächen. Die Analyse der Oberflächenchemie des Bauteils erfolgt dann durch die Analyse der SIP-Oberfläche. Zur Analyse kann neben anderen Methoden insbesondere die oberflächensensitive Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie (ToF-SIMS) verwendet werden. Die zu untersuchenden Bauteile müssen somit nicht mehr aus dem Prozess entfernt und für die Analyse zerstört werden. Der Anwendende kann so enorme Kosten einsparen. Weiterhin können SIPs für die Kontaminationskontrolle in Schmierstoffkreisläufen und Flüssigkeiten eingesetzt werden. Silikonöl (PDMS) wird dabei in Flüssigkeiten bisher mit einer Nachweisgrenze von unter 10^–6 (ppm) nachgewiesen.

• Pages: 26-32

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Dünne Schichten

Structure and Optical Characteristics of DLC Films: A Study on the Impact of CH₄ Flow Rate

Using a RF-Plasma Enhanced Chemical Vapor (RF-PECVD) Depositions method, employing hydrogen and methane gas, Diamond like carbon (DLC) films were fabricated on glass and silicon substrates. The impact of varying CH₄ to H₂ ratios on the resulting film's structure, optical characteristics, and mechanical properties was investigated. The deposition process occurred at methane flow rates spanning 5 to 40 sccm. The films' surface morphology, and roughness were analyzed through Atomic Force Microscopy. Moreover, the Vickers hardness tests was employed to determine the hardness of produced films. The optical behavior of the DLC thin films was explored utilizing UV-visible spectrometry and ellipsometry. A thorough investigation was conducted to understand how the CH₄ flow rate influences layer growth, morphology, topography, and how these factors relate to the films' transmittance, reflectance, refractive index, and optical band gap.

• Pages: 34-38

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Anwenderbericht

Digitale Vakuummeter mit Grafikdisplay und integriertem Datenlogger: Beschleunigung von Serviceeinsätzen sowie Vereinfachung von Qualitätssicherung und Instandhaltungsaufgaben

Akkubetriebene Kompakt-Vakuummeter sind die perfekte Lösung zur Überwachung des Drucks direkt vor Ort und finden Verwendung bei Service und Wartung, Laboranwendungen, in der Lebensmittel- und Verpackungsindustrie, bei Qualitäts-sicherung sowie der Prozessdokumentation. Hauptmerkmale, Funktionsprinzipien und Anwendungen neu entwickelter digitaler Kompakt-Vakuummeter werden hier vorgestellt.

• Pages: 40-41
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Magazin

DVG: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2023

• Pages: 42-45

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Termine: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2023

• Pages: 46

Bezugsquellen: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2023

• Pages: 47-50

Index/Impressum: Vakuum in Forschung und Praxis 5/2023

• Pages: 51